根據亨利定律，氣體在水中的溶解度與水溫和壓力有關，在一定溫度下，與氣體的壓力成正比。在一定壓力下，水溫降低，氣體溶解度增加，水溫升高，氣體溶解度降低。當降低水面壓力，則可在較低水溫下，使溶于水中的氣體析出，從而去除水中的氣體。真空脫氣機就是通過在機器中產生真空，將水中的游離氣體和溶解氣體釋放出來，再通過自動排氣閥排出系統，脫氣后的水再注入系統，這些低含量的水是不飽和水，對氣體具有高度的吸收性，它將吸收系統中的氣體以尋求汽水平衡。真空脫氣機每20-30秒鐘重復一次這樣的循環。如此循環反復，將系統中的所有氣體脫除