離子束刻蝕機(jī)6英寸

離子束刻蝕 IBE-150, IBE-200

北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所股份有限公司原名為北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所，成立于2001年，自主獨(dú)立設(shè)計了離子束刻蝕設(shè)備和雙離子束濺射沉積鍍膜設(shè)備，其自主設(shè)計的考夫曼離子源穩(wěn)定性≤±3%，鍍膜均勻性≤±5%，工件臺采用水冷控溫系統(tǒng)，溫度可以控制在5℃~25℃，可低溫成膜。采用離子束濺射鍍膜設(shè)備加工的薄膜附著力很強(qiáng)、均勻性好、致密度高，可合成新功能復(fù)合型薄膜。