惠州直線XY平臺十字平臺 十字平臺結(jié)構(gòu)； 定位精度補償后可達±2μm，重復定位精度可達到±1μm； 速度可達到3m/s； 用于高精度激光切割設備，檢測設備，激光打標等高精密設備； 可根據(jù)客戶要求定制； 項目/X軸、Y軸 負載（kg）：根據(jù)需求定制； 行程（mm）：根據(jù)需求定制； 速度（mm）：6m/s； 加速度（m/s2）：6G； 定位精度（μm）：±2（補償后）； 重復定位精度（μm）：±1； 直線度（μm）：±5/200mm； 材質(zhì)：鋁合金/鋼/大理石光柵分辨率（μm）：0.1/0.5/1可選。惠州直線XY平臺